高精度传感器就是指测量观测结果、计算值或估计值与真值（或被认为是真值）之间的接近程度很高，可以很真实的还原物体的本质的高精度传感器。

目前常用的高精度传感器是激光传感器，其精度主要取决于光的单色性的好坏。激光是理想的光源，它比以往的单色光源（氪-86灯）还纯10万倍。因此激光测长的量程大、精度高。由光学原理可知单色光的可测长度 L与波长λ和谱线宽度δ之间的关系是L=λ/δ。用氪－86灯可测长度为38.5厘米，对于较长物体就需分段测量而使精度降低。若用氦氖气体激光器，则可测几十公里。一般测量数米之内的长度，其精度可达0.1微米。比如说ZLDS10X。以下介绍两种高精度位移传感器的特征：

ZLDS100R-4-39传感器可用于镜面和玻璃的表面测量；

频率响应：2K、5K、8K、9.4K；

针对串口，提供了运行应用的DLL开发库，方便用户开发应用软件；

支持特殊量程(如远距离起始700mm小量程300mm等)；

分辨率0.01%,线性度0.1%；